A szondacsúcsjavító eszközöket elsősorban a szonda típusa és a passziválás mértéke alapján osztályozzák. Ide tartoznak a fizikai tisztítóeszközök, a vegyi tisztítóberendezések, az elektrokémiai javítóeszközök és a speciális diagnosztikai műszerek. Ezeket az eszközöket az enyhén passzivált szondák teljesítményének helyreállítására vagy annak meghatározására használják, hogy a szondát cserélni kell-e.
I. Fizikai tisztítóeszközök: Felületi szennyeződésekre vagy enyhe oxidációra alkalmas
1. Ultra-finom csiszolószerszámok
Ultra-finom csiszolópapír (2000 szemcsenagyságú vagy nagyobb): fémszondák (például Pogo tűk vagy multiméter mérővezetékek) felületi oxidrétegének polírozására szolgál a vezetőképesség helyreállítása érdekében.
Szösz-mentes kendő + izopropil-alkohol (IPA): A szondacsúcsokon lévő foltok letörlésére szolgál; egyszerűen használható és alkalmas a gyors helyszíni kezelésre-.
Mikro-vezérelt polírozó: Lehetővé teszi a szondák mikroszkóp alatti szabályozott polírozását, megelőzve a túlzott kopást.
Alkalmazható forgatókönyvek: Ipari tesztszondák és áramkör-javító tűk rutinszerű karbantartása.
2. Légáramlás és kefés eszközök
Nitrogén fúvópisztoly: Eltávolítja a szonda csúcsaira tapadt port, megelőzve a másodlagos szennyeződést.
Ultrahangos tisztító: tisztítóoldattal együtt használják a részecskék és szerves maradványok hatékony eltávolítására.
II. Vegyi és elektrokémiai javítóberendezések: oxidrétegek célzott eltávolítása
1. Kémiai tisztítóoldatok
Hígított sósav vagy citromsavoldat: Fémszondák (pl. volfrám, berillium réz) áztatására szolgál felületi oxidok feloldására.
Speciális elektronikus szondatisztító folyadék: Kereskedelmi forgalomban kapható termékek (pl. DeoxIT D5), amelyek biztonságosan eltávolítják az oxidfilmeket anélkül, hogy károsítanák az aljzat anyagát.
Megjegyzés: Nem alkalmas szilícium-alapú AFM szondákhoz, mivel korrodálhatja a konzolos szerkezetet.
2. Elektrokémiai javítóeszközök
Ellenőrzött{0}}áramelektrolízis rendszer: A feszültség és az elektrolitkoncentráció beállításával eltávolítja az oxidrétegeket anélkül, hogy megváltoztatná a szonda geometriai alakját.
Mikro-elektrolitikus cella: Kifejezetten finom-átmérőjű szondákhoz tervezték, lehetővé téve a helyi tisztítást.
Előnyök: Nagy tisztítási pontosság és minimális sérülés; alkalmas nagy értékű-szondák karbantartására.
III. Speciális feldolgozási technikák nanoméretű szondákhoz (nem otthoni használatra)
1. Plazmatisztító
Oxigénplazmát használ a szerves szennyeződések lebontására; széles körben használják AFM és félvezető szondák laboratóriumi-tisztítására.
Hatékonyan fokozza a hegy reakcióképességét és helyreállítja a felület vezetőképességét.
2. Fókuszált ionsugár (FIB) élezése
„Szobrok” tompítják a hegyeket az atomi léptékben, hogy{0}}éles profilt hozzanak létre.
Csúcsminőségű-kutatási technika, amely jelentős költségekkel jár, és csak speciális forgatókönyvekben használható.
Gyakorlati korlátok: A FIB berendezések költségesek és bonyolultak a működtetésük; hiányzik belőle az univerzális javítási megoldás, és jellemzően kevésbé gazdaságos és megbízható, mint a szonda egyszerű cseréje egy újjal.
IV. A-javítás utáni ellenőrző eszközök: A teljesítményszabványok betartásának biztosítása
1. Pásztázó elektronmikroszkóp (SEM)
Közvetlenül megfigyeli a csúcs morfológiáját, hogy megállapítsa, hogy a görbületi sugár helyreállt-e.
A laboratóriumban a leghitelesebb módszer a hegy tompaságának felmérésére.
2. Fehér fény interferométer / AFM ön-kalibrálás
Közvetetten értékeli a szonda állapotát a 3D felületrekonstrukcióval vagy a standard minták képalkotásával.
Alkalmas rutinszerű ellenőrzésre olyan környezetekben, ahol nem érhető el SEM.
3. Szabványos mintavizsgálati módszer
Ismert szerkezetű mintákat (pl. HOPG, diffrakciós rács standardok) használ az összehasonlító szkenneléshez.
Ha a kapott képek tiszták és mentesek a kiszélesedő műtermékektől, az azt jelzi, hogy a szonda megfelelően működik.
